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光学显微镜-适用于大尺寸样品的 Axio Imager Vario
分析从最小的 MEMS 传感器到超大 XXL 晶圆,或整块平板显示器,不会对样品造成破坏。 借助高达 300 mm 的横向移动距离和 254 mm 的垂直深度,您可以在 Axio Imager Vario 下检测多种样品

介绍:

检测大尺寸样品 – 拥有自动聚焦系统且满足超净室等级要求

分析从最小的 MEMS 传感器到超大 XXL 晶圆,或甚至整块平板显微器,其间不会对样品造成破坏。借助最大 300 mm 的横向移动距离和最高 254 mm 的垂直深度,您可以在 Axio Imager Vario 下检测大量样品。一体化机柱设计确保了稳定性。在超净室内检测晶圆的应用中 – Axio Imager Vario 已通过 DIN EN ISO 14644-1 标准认证,并满足洁超净室等级 5 的要求。利用驱动 Z 轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至更佳聚焦位置。


特点:

●  两种手动和一种电动机柱(配有符合工业标准的三个模式控制按钮)可供选择,充分利用显微镜最大 300 mm 横向与纵向移动距离和最高 254mm 垂直深度的优势。

●  Axio Imager Vario 能通过物镜转盘的上下移动来聚焦样品。这就意味着,即便是较重的样品,也可以获得高精准聚焦精度和可重复性。

●  借助自动聚焦硬件,您可以精准快速地聚焦低对比度的反射样品。

●  Axio Imager Vario 与 LSM 700 组合应用,以高分辨率无接触地分析敏感样品。

●  Axio Imager Vario 已通过 DIN EN ISO 14644-1 标准认证,并满足洁超净室等级 5 的要求。


超净室:

半导体制造与晶圆检测需要在超净室内完成。根据 DIN EN ISO 14644-1 标准,以每立方米的颗粒数量和大小将其划分成不同等级。在超净室应用中,Axio Imager Vario 已通过此标准认证,并满足超净室等级 5 的要求。超净室ISO 5 等级相当于原 FED STD 209E(1992)标准的 100 级。超净室套件中包含一个 7 孔物镜转盘、一个颗粒保护罩及一个防喷嚏保护罩。


自动聚焦硬件:

集成有 Auto Focus 自动聚焦硬件系统的 Axio Imager Vario 能够在高达12000 µm 的焦点捕获范围内实现快速精准的聚焦。在工业生产和研究的检测应用中,您需要一套聚焦精度能达到物镜景深 0.3 倍的高精度聚焦系统。该自动聚集硬件适合于使用反射光、透射光、明场、暗场、偏光、微分干涉相差及斜照明观察方式的应用。



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