高效、先进的成像

具有先进成像能力的 人体工学设计显微镜

MX63和MX63L显微镜系统支持检测尺寸达300毫米的晶圆、平板显示器、印刷电 路板以及其他样品的质量。这些符合人体工学设计的人性化系统采用模块化设 计，可在各种应用中实现最佳观察条件。结合奥林巴斯Stream图像分析软件使用 时，从观察到生成报告的整个检测流程更简洁直观。

带有此标记的功能需要使用奥林巴斯Stream软件

满足电子行业需求

功能

先进的分析工具

MX63系列的各种观察功能可生成清晰的图像，让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全 新照明技术以及奥林巴斯Stream图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和存档检测 结果提供更多选择。

从不可见到可见：MIX观察与采集

通过暗场与明场、荧光或偏光等其他观察方法结合使用，MIX观察技术能够获得特殊的观察图像。MIX观察技术可让用户发现用传 统显微镜难以观察的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕，有助 于观察样品的表面纹理。

支持洁净室合规性的先进设计

MX63系列专为洁净室工作而设计，并有效降低样品污染或受损的风险。该系统采用人体工 学设计，可帮助用户在长时间使用中保持舒适。MX63系列符合SEMI S2/S8、CE和UL等多 项国际规范及标准要求。

人性化

直观的显微镜控制：舒适且使用方便

显微镜设置操作简单，让用户调整和再调用系统配置更加轻松。

先进成像技术

为质量检验提供精细的光学性能和数码成像技术

奥林巴斯研发高质量光学器件和先进数码成像技术的悠久历史成就了具有卓越测量精度的 一系列可靠光学器件和显微镜。

应用

反射光显微镜在很多应用和行业中普遍应用。以下是采用不同的观察方法所达到的一些效果示例。

模块化

全面可定制

MX63系列设计用于让用户能够选择各种光学器件满足其特定的检测和应用需求。该系统可 使用所有观察方法。 用户还可从一系列的奥林巴斯Stream图像分析软件包中进行选择，以满足其特定的图像采 集和分析需求。